高純氮氣用于化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保護介質，速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑，電子工業中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等，還用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。
       在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統要先用高純氮置換，再用高純氦置換。